引導(dǎo)式系統(tǒng)
SensoSCAN
軟件通過(guò)清晰、直觀(guān)且用戶(hù)友好的界面驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
用戶(hù)將被引導(dǎo)瀏覽 3D 環(huán)境,獲得很好的用戶(hù)體驗(yàn)。
上海茂鑫實(shí)業(yè)
Shanghai Maoxin industry專(zhuān)注光學(xué)儀器
德國(guó)徠卡LEICA顯微鏡當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > > 共聚焦顯微鏡 > S neoxSensoafar共聚焦顯微鏡
簡(jiǎn)要描述:新型Sensoafar共聚焦顯微鏡S neox 在性能、功能、效 率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的 3D光 學(xué)輪廓儀,是Sensofar 的新一 代共聚焦顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)。
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車(chē)及零部件,電氣 |
新型Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox 在性能、功能、效 率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的 3D光 學(xué)輪廓儀,是新一 代共聚焦顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)。
驚人的測(cè)量速度
通過(guò)采用新的智能和自有的算法以及新型相機(jī),達(dá)到驚人的測(cè)量速度。數(shù)據(jù)采集速度達(dá) 180 fps。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量采集速度比以前快 5 倍。新型Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox 成為市場(chǎng)上速度極快的表面測(cè)量系統(tǒng)。
易于使用
Sensofar 致力于為客戶(hù)提供最令人難以置信的體驗(yàn)。隨著第五代 S neox 共聚焦顯微鏡系統(tǒng)的誕生,我們的目標(biāo)是使其易于使用、直觀(guān)且更快速。即使是初學(xué)者,只需點(diǎn)擊一下,即可操作測(cè)量。模塊化設(shè)計(jì)的軟件,使系統(tǒng)適應(yīng)用戶(hù)多樣的需求。
功能靈活多樣
豐富的自動(dòng)化模塊,方便進(jìn)行質(zhì)
量管控。從操作員訪(fǎng)問(wèn)權(quán)限控制、測(cè)量程序存儲(chǔ)、兼容性到條形碼/QR 讀取器,以及我們專(zhuān)有 SensoPRO 軟件中的定制插件,都可以自動(dòng)生成分析報(bào)告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作,其具有靈活性和易于使用的界面,可編程并24小時(shí)工作。
Sensofar 的三合一方法—只需點(diǎn)擊一次,系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測(cè)量技術(shù)—共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加—這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻(xiàn),并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。S neox 是所有實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的理想之選,適用范圍廣泛。
四合一技術(shù)
Ai 多焦面疊加NEW!
主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測(cè)量大粗糙表面形狀而開(kāi)發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測(cè)量領(lǐng)域的廣泛專(zhuān)業(yè)知識(shí),專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測(cè)量。通過(guò)使用主動(dòng)照明,即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測(cè)量數(shù)據(jù),這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn)。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表面(高達(dá) 86o),更快的速度(mm/s)和較大的垂直范圍測(cè)量。
共聚焦
共聚焦輪廓儀的開(kāi)發(fā)目的是,測(cè)量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率,可達(dá) 0.14μm 水平分辨率,空間采樣可減少到 0.01μm,這是關(guān)鍵尺寸測(cè)量的理想選擇。高達(dá)NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過(guò) 70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面,可允許 86°。自有的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。
干涉
光學(xué)干涉是利用參考鏡和樣本上產(chǎn)生的兩束反射光在零光程差時(shí)產(chǎn)生干涉的現(xiàn)象來(lái)生成三維干涉圖樣(干涉圖),包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應(yīng)用。
薄膜
薄膜測(cè)量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無(wú)損地測(cè)量光學(xué)透明層的厚度,且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見(jiàn)光范圍內(nèi)樣品的反射光譜,并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較,準(zhǔn)確地找到匹配的厚度。可以在不到一秒鐘的時(shí)間內(nèi)測(cè)量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測(cè)量光斑取決于物鏡放大率,范圍從0.5μm到40μm。
用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢(shì)。首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(shí)(約25倍于激光)。最重要的是多個(gè)LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇適合的波長(zhǎng)來(lái)測(cè)量。
每一臺(tái)SNEOX都是為了實(shí)現(xiàn)精確且可追溯地測(cè)量。我們的設(shè)備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標(biāo)準(zhǔn)的可追溯標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行校正。所有的指標(biāo),包括高度及水平精度、平面度偏差、系統(tǒng)分辨率等都以測(cè)量此類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)塊而得到。我們堅(jiān)持所有的測(cè)量設(shè)備按照此標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
SNEOX出廠(chǎng)前都采用已計(jì)量、可追溯的標(biāo)準(zhǔn)塊做校正,并且確認(rèn)符合標(biāo)準(zhǔn)才會(huì)出廠(chǎng)。同時(shí)SENSOFAR會(huì)隨設(shè)備附上測(cè)量精度和重復(fù)性的檢測(cè)報(bào)告
ISO 標(biāo)準(zhǔn)
高分辨率
垂直分辨率受到儀器噪聲的限制,儀器噪聲對(duì)于干涉測(cè)量是固定的,但共聚焦測(cè)量依賴(lài)的數(shù)值孔徑。Sensofar 專(zhuān)有算法以光學(xué)儀器更佳的橫向分辨率為測(cè)量技術(shù)提供納米級(jí)系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3 nm) 原子層。由 PTB 提供。
DIC 觀(guān)察
微分干涉 (DIC) 用于強(qiáng)調(diào)在正常觀(guān)察中沒(méi)有對(duì)比度的非常小的高度特征。通過(guò)使用 Nomarski 棱鏡,產(chǎn)生了干涉圖像,解決了在明視場(chǎng)或共聚焦圖像中不可見(jiàn)的亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)。
Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox 軟件系統(tǒng)SENSOSCAN
引導(dǎo)式系統(tǒng)
概覽工具,可幫助用戶(hù)在測(cè)量準(zhǔn)備過(guò)程中檢查樣品、在采集之前檢查測(cè)量位置以及協(xié)助實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化程序。讓您時(shí)刻掌握測(cè)試進(jìn)度,讓高倍率測(cè)量變得更加簡(jiǎn)單。
選擇 3D 自動(dòng)功能,SensoSCAN 軟件
將自動(dòng)確定正確的照明和合適的測(cè)量范圍,
然后執(zhí)行所選的測(cè)量類(lèi)型。因此,您可以在幾秒鐘內(nèi)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。
還可以創(chuàng)建分析模板,將預(yù)定的過(guò)濾器和操作員配置應(yīng)用于重復(fù)的測(cè)量。
最后,為每次測(cè)量產(chǎn)生清晰且結(jié)構(gòu)良好的報(bào)告,包括 3D 數(shù)據(jù)、2D 輪廓和所有 ISO 參數(shù)。
自動(dòng)測(cè)量模塊讓客戶(hù)更容易地實(shí)現(xiàn)自定義編程,完成質(zhì)量管理和檢測(cè)的目標(biāo)。手動(dòng)設(shè)定測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)或?qū)胱鴺?biāo)文件,為每個(gè)坐標(biāo)或批量設(shè)定量測(cè)程序,再設(shè)定自動(dòng)影像識(shí)別對(duì)位點(diǎn),最后定義公差范圍及報(bào)告輸出格式就完成了所有的編程工作。
SNEOX設(shè)計(jì)了一個(gè)全新的編程方式。即通過(guò)自動(dòng)識(shí)別相同的結(jié)構(gòu)或產(chǎn)品類(lèi)型,程序會(huì)在相同的位置復(fù)制測(cè)量點(diǎn)位和程序。這將極大地提高編程的效率,節(jié)省了人員編程的時(shí)間。
通過(guò)影像自動(dòng)識(shí)別對(duì)位點(diǎn)并自動(dòng)進(jìn)行位置補(bǔ)正,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)人干預(yù)的全自動(dòng)化測(cè)量。使原來(lái)手動(dòng)抽檢的臺(tái)式機(jī)變身為只要手動(dòng)放完片就可以自動(dòng)測(cè)量完并給出報(bào)告的半自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備。自動(dòng)對(duì)位點(diǎn)識(shí)別的功能也是離線(xiàn)抽檢設(shè)備走向工業(yè)4.0必須要具備的能力。
最高可達(dá)
500 Mpx
擴(kuò)展測(cè)量模塊
SensoSCAN 的擴(kuò)展測(cè)量模塊讓用戶(hù)可以通過(guò)概覽圖像輕松地在表面上定義測(cè)量布局。測(cè)量區(qū)域可被自動(dòng)裁剪為需要的矩形、圓形或環(huán)形區(qū)域。適用于高達(dá) 5 億像素的大面積測(cè)量。提供多種掃描策略,例如對(duì)每個(gè)視場(chǎng)進(jìn)行自動(dòng)聚焦,或聚焦跟蹤,以便最小化垂直掃描范圍。
強(qiáng)大的分析軟件
3D 和 2D 交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項(xiàng)。提供全套工具套裝,適用于對(duì) 3D 或 2D 測(cè)量進(jìn)行初步檢查和分析。測(cè)量臨界尺寸、角度、距離、直徑,以及使用新的注釋工具突出顯示特點(diǎn)。
快速質(zhì)量控制
在生產(chǎn)線(xiàn)上執(zhí)行快速質(zhì)量控制從未顯得如此簡(jiǎn)單。得益于 SensoPRO,生產(chǎn)線(xiàn)操作員只需要加載樣品并按照引導(dǎo)式說(shuō)明操作即可。基于插件的數(shù)據(jù)分析算法提供了高度的靈活性。全新模塊可供輕松定制,以適應(yīng)其他行業(yè)的需求。
高級(jí)分析軟件
SensoMAP 是一款功能強(qiáng)大的分析和報(bào)告工具,它是基于 Digital Surf 的 Mountains 技術(shù)而開(kāi)發(fā)。SensoMAP 軟件已經(jīng)模塊化,以適應(yīng)客戶(hù)需求。SensoMAP 提供兩個(gè)級(jí)別(標(biāo)準(zhǔn)和進(jìn)階)和多個(gè)模塊(2D、3D 或 4D 模塊、進(jìn)階輪廓、顆粒和粒子、統(tǒng)計(jì)和拼接)。
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